传感技术中的长野计器开发利用金属玻璃的压力传感器

长野计器开发出了通过感压部使用金属玻璃实现了小型化及高灵敏度的压力传感器,并投入了使用。由于体积较小,因此可使用于原来无法安装的小型油压系统及机器人。此外还可应用于加工计量控制、油压计量控制以及汽车燃料喷射压控制等。 金属玻璃是一种具有像玻璃一样的非晶质构造的材料。由于没有结晶粒界,所以具有比原有结晶质合金更高的弹性及耐腐蚀性。在与玻璃相同的高温下,可轻松变形,因此可利用铸造等手段进行精密再现。 在此次的研究中,开发出了适用于压力传感器感压部的金属玻璃及其成型加工方法。在金属玻璃的种类方面,分别面向高灵敏度用途及高耐压用途,设定了锆基型和镍基型。通过利用金属玻璃出色的再现性,实现了