传感技术中的超薄压力传感器HSPP利用压电电阻技术

阿尔卑斯电气开发出了利用压电电阻的小型超薄压力传感器“HSPP”系列。分为以真空状态为标准进行检测的绝对压力检测用产品,以及以大气压为基准进行检测的表压检测用产品。绝对压力检测用产品的外形尺寸为4.5mm×4.5mm×高1.0mm,表压检测用产品的外形尺寸为7.0mm×7.0mm×高8.0mm,均实现了小型、薄型化。可以用于检测PND(personal navigation device)等便携式产品,以及洗衣机、洗碗机等白家电的气压和空气压。 压力检测的原理如下。新产品在隔膜上形成压电电阻层。隔膜因外部压力弯曲时,能够把隔膜上压电电阻形变产生的电阻变化作为电信号读取。通过数字电路和温