电子测量中的计量光栅原理简介

计量光栅在数显光电检测仪器与数控机电设各中得到广泛应用。计量光栅实际上就是刻线间隔很小(比如每毫米刻20、50或100线对)的标尺(长光栅)或度盘(圆光栅)。它既是计量标准器,同时又能自动读数。而且还可以利用其光电输出信号实现控制的目的,因此它的用途越来越广泛。 图1 莫尔条纹的几何光学解释 计量光栅大多数是利用两块光栅叠合产生的莫尔条纹原理来工作的。两块光栅中一块作为计量标准器,称为主光栅。另一块随工作台运动,并传出运动信息,称为指示光栅。两块光栅叠合时,使两者栅线有很小的夹角,就可以得到横向莫尔条纹(为防止擦伤,两块光栅之间应有很小的运动空隙)。如图1所示,纫、鲂为两块光栅