电子测量中的计量光栅读数头的基本组成和分类

1光栅读数头的基本组成部分。光栅读数头由光源1、照明系统2,主光栅3、指示光栅4、光学系统5和光电接收组件6等部分组成,如图1所示。 光源发出的光束经过照明系统(聚光镜)后成为均匀的平行光照明主光栅。由于主光栅和指示光栅之间的相对运动(测量运动)而输出交变的莫尔条纹信号,此信号经过光学系统(物镜)会聚到光电接收器,并转换成反映莫尔条纹特性的电信号供光电计数及细分用。 1一光源 2一照明系统 3一主光栅 4一指示光栅 5一光学系统 6一光电接收组件 图1 光栅读数头的组成 2光栅读数头的分类。光栅读数头的型式很多,按结构布局特点可以分为直读式、分光式、镜像式和调相式等