显示/光电技术中的激光准直仪补偿漂移的原理

例1 对径读数消除偏心误差。对于度盘、圆光栅等测角标准器,通常采取在180°的对径位置同时读数然后取平均值的方法来消除偏心误差。如图1所示,设@为度盘旋转中心,@′度盘刻度中心,A和B为对径读数位置。不难看出,由偏心量召引起的A、B两点的读数误差都为ε,即A点读数为0°-δ,而B点读数为180°+5。取A、B两点读数的平均值即可消除偏心误差ε。 详细证明可知,采用对径读数系统还可以消除度盘或圆光栅的全部奇次误差。 例2 干涉仪光路采用共路原则,使工作臂与参考臂尽量经过相同的路径(并排靠近),这样可以补偿由于床身变形和环境条件变化带来的误差。 例3 激光准直仪是以激光束作为直线