显示/光电技术中的LCOS显示技术原理简介

1 引言 直视式大屏幕电视和显示器尚未大量投放市场,使投影显示发展活跃起来,其中LCOS(LiquidCrystalonSilicon)反射式投影显示刚刚迸人市场,引起业界的重视。因为LCOS技术借硅基CMOS集成电路技术,在单晶硅片上CMOS阵列取代a一Si TFT LCD中玻璃基板上a一Si TFT阵列,相比之下前者生产技术更成熟,还有单晶硅迁移率远高于a一Si迁移率,因此不仅适合于高密度、高分辨率、高开口率显示,而且可以周边驱动电路集成一体,甚至可以集成信息处埋系统。但LCOS微型显示通过光学系统放大图像几十到几百倍,带来液晶显示技术的新问题。本文介绍LCOS基本结构、光学