基础电子中的微机械振动陀螺仪的简要工作原理

陀螺系统组成见图1,它由敏感元件、驱动电路、检测电路和力反馈电路等组成。在梳状静电驱动器的差动电路上分别施加带有直流偏置但相位相反的交流电压,由于交变的静电驱动力矩的作用,质量片在平行于衬底的平面内产生绕驱动轴Z轴的简谐角振动。当在振动平面内沿垂直于检测轴的方向(X方向)有空间角速度Ω输入时,在哥氏力的作用下,检测质量片便绕检测轴(Y轴)上下振动。这种振动幅度非常小,可以由位于质量片下方、淀积在衬底上的电容极板检测,并通过电荷放大器、相敏检波电路和解调电路进行处理,得到与空间角速度成正比的电压信号。 在科研及加工过程中,一个重要的内容就是检测陀螺仪的特性,如工作状态谐振频率、带宽增益