传感技术中的表面弹性波式进气压力传感器的识别

表面弹性波式进气歧管压力传感器如图1所示。它是在一块压电基片上用超声波方 图1 表面弹性波式进气歧管压力传感器 法加工出一薄膜敏感区,上面刻制换能器(压敏SAW延时线),换能器与电路组合成振荡器。为了提高测量 精度,补偿温度对基片的影响,在薄膜敏感区边缘设置另一只性能相同的换能器(温基SAW延时线)。换能 器是在抛光的压电基片上设置两个金属叉指构成,若在输入换能叉指T1上加电信号,便由逆压电效应在基片 表面激励起弹性表面波,传播到换能叉指T2转换成电信号,经放大后反馈到T1以便保持振荡状态。表面弹性 波(SAW)在两个换能叉指之间的传播时间即是所获得的延迟时间,其大小取决于两换能叉指间