传感技术中的半导体压敏电阻式进气压力传感器的识别与检测

(1)半导体压敏电阻式进气压力传感器的识别 半导体压敏电阻式压力传感器是利用半导体的压敏效应制成的。它的特点是尺寸小,精度高,响应性好, 再现性、抗震性好,且生产成本低,所以得到广泛应用。如通用汽车公司、丰田汽车公司、克莱斯勒汽车公 司生产的汽车,以及国产桑塔纳2000GLi型轿车等都使用半导体压敏电阻式压力传感器。 该传感器的结构如图1所示,它由压力转换元件和把转换元件输出信号进行放大的混合集成电路构成。 图1 压敏电阻式进气歧管压力传感器 压力转换元件是利用半导体的电压效应制成的硅膜片。硅膜片的一面是真空室,另一面导人进气歧管压力。硅膜片为边长3mm的正方形,它的中部经