电子测量中的硅光子计数探测器推动新一代成像技术

硅光子计数器件最近取得了革命性进展,大量新型探测器正进入市场。这些探测器可应用于许多新领域,如荧光寿命成像、正电子发射X线断层显像、辐射探测、高能物理、激光测距(激光雷达)和粒径测量。潜在应用甚至包含新兴的通信技术领域,如保密通信中的量子密钥分配。 图1.在纳米压印光刻技术中,重复使用一 个模版大批量的压印预定形状的晶圆。在最终的沉积工序之后,晶圆既可以依尺寸切成方块,也可以再利用压印技术制备其它的功能层。 以前,光子计数器建立在三种不同技术平台上。其中之一是以真空管为基础的光电倍增管(PMT)。这些探测器具有光探测面积大的优点,可用于各种器件。此外,庞大的市场使得PMT探