极紫外微通道板光子计数成像探测器性能研究

基于CE-3极紫外(EUV)相机最高工作温度为70 °C的要求,对EUV相机的微通道板(MCP)位置灵敏阳极光子计数成像探测器实验件在70 °C时的性能进行了研究,该探测器主要由工作在脉冲计数模式下的MCP堆、楔条形感应电荷阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。为了获得稳定的MCP堆电子增益及较小的暗计数率,对MCP堆进行了预处理,包括380 °C条件下真空高温烘烤18 h,以及电子清刷100 μA·h,并测量了预处理前后暗计数率;测量了探测器工作在室温和70 °C时的暗计数率、空间分辨率、增益,测量结果表明探测器的空间分辨率为5.66 lp/mm,与室温下空间分辨率相同,暗计数率虽然小于1 count