传感技术中的介观压阻型微压力传感器设计

l 引言 压力传感器应用广泛,例如汽车中的多路压力测量(如空气压力测量和轮胎系统、液压系统、供油系统的压力测量)、环境控制(如加热、通风和空气调节)中的压力测量、航空系统中的压力测量以及医学中动脉血液压力测量等。这里将在传统压力传感器中使用一种新原理一介观压阻效应口,即在共振隧穿电压附近,通过4个物理过程,将一个微弱的力学信号转化为一个较强的电学信号。用基于介观压阻效应的共振隧穿薄膜替代传统的压阻式应变片作为敏感元件,通过理论分析和仿真计算验证了该结构对传感器灵敏度、固有频率的影响,从理论上证明了介观压阻效应原理可以提高压力传感器的灵敏度,扩大其测量频率的范围。 2 介观压阻效应及