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介观压阻型微压力传感器设计

上传者: 2020-09-15 02:09:10上传 PDF文件 73KB 热度 16次
该结构的压力微传感器由于敏感元件与变换元件一体化,尺寸小,其固有频率很高,可以测量频率范围很宽的脉动压力。在不同的偏压下,该传感器的灵敏度不同。说明灵敏度可调节。
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