传感技术中的基于GMR传感器阵列的生物检测研究

0 引 言 生物传感器的研究具有巨大的应用前景,近年来,随着电子自旋现象的发现,结合了半导体微电子工艺制备的GMR设备,在生物检测领域引起了人们越来越浓厚的研究兴趣,使其成为传统生物检测方法的替换方案之一。由于其独特的物理特性,GMR传感器比电子传感器更灵敏、可重复性强,具有更宽的工作温度、工作电压和抗机械冲击、震动的优异性能,而且GMR传感器的工作点也不会随时间推移而发生偏移。GMR传感器的制备成本和检测成本低,对样本的需求量很小。由GMR传感器组成的阵列,还可以结合现有的IC工艺,提高整体设备的集成度,进行多目标的检测。同时,对比传统的荧光检测法,磁性标记没有很强的环境噪声,标记