元器件应用中的分析二相CCD器件的工作原理
二相CCD器件的工作原理 图1 二相CCD 中电荷的转移过程 (a)初始状态;(b)电荷由1电极向2电极转移;(c)电荷在1、2电极下均匀分布; (d)电荷继续由1电极向2电极转移;(e)电荷完全转移到2电极;(f)三相交叠脉冲 对于二相器件而言,若每个电极都有非对称结构,那么可以实现电荷的定向移动。以图2.3 为例加以说明。这里采用两个不同的氧化厚度来实现表面势的非对称性。在金属电极上加同样的电压时,厚氧化层下面的表面势比薄氧化层下面的表面势低。因此在图2中所示的结构中每个电极的厚氧化层下面存在一个内建势垒,以防止存储在薄氧化层下面的电荷往反方向移动。对二相CCD,只要注意到
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