微压力传感器介绍及设计

压力传感器应用广泛,例如汽车中的多路压力测量(如空气压力测量和轮胎系统、液压系统、供油系统的压力测量)、环境控制(如加热、通风和空气调节)中的压力测量、航空系统中的压力测量以及医学中动脉血液压力测量等。本文介绍一种新型的传感器-微压力传感器,以及微压力传感器结构设计及力学分析,为产品设计提供指导