传感技术中的ASIC与MEMS协同设计的方法

导读:传感器性能对MEMS和ASIC参数的高度依赖性表明,闭环传感器的系统级设计需要做大量的折衷考虑,其中的ASIC噪声预算、激励电压、功耗和技术都高度依赖于MEMS参数。 微机械式惯性传感器已经成为许多消费产品的一个组成部分,比如手持式移动终端、照相机和游戏控制器等。此外,微机械式惯性传感器还被广泛用于工业、汽车安全和稳定控制以及导航领域中的振动监测。一般来说,微型传感器可以是压电式、压阻式或电容式传感器。然而,电容式传感的高热稳定性和高灵敏度使得它对种类广泛的应用来说更具吸引力。 带数字读取功能的基本的电容式传感器接口电路由电容到电压转换器(C/V),以及随后的模数转换器(A/