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毫米波段MEMS移相器的研究

上传者: 2020-09-27 14:14:25上传 NH文件 6.81MB 热度 10次
详细介绍了MEMS开关的工作原理,参数指标,设计方法和注意事项,介绍了各种MEMS移相器的设计等。
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