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电容式MEMS麦克风读出电路设计

上传者: 2020-08-16 11:47:06上传 PDF文件 94.1KB 热度 14次
在分析电容式MEMS麦克风工作原理的基础上,提出了一种低功耗、低噪声、高分辨率的电容式MEMS麦克风读出电路。
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