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加速度计的高带宽传感器仿真设计

上传者: 2020-08-11 03:13:54上传 PDF文件 551.19KB 热度 13次
在高速动力学理论中,速度、力和压力都是基于加速度推导出来的,所以加速度的测量是一个非常关键的步骤。加速度计内的传感元件可用于测量加速度。随着技术进步,需要不断对这类传感器封装进行优化,才能使其胜任带宽更大的振动频率的处理任务。为实现这一目标,研究人员对传感器封装中的新型压阻式传感器芯片进行了测试。他们的仿真结果与实验数据高度吻合,这为高带宽传感器封装的优化和研发铺平了道路。
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