ansys硅微加速度计的设计与仿真
硅微加速度计结构示意图总体尺寸在1400微米以内质量块尺寸为200μmμm质量块的厚度为80μm梁的尺寸300μm40μm梁的厚度为30μm.材料自选可类比课件例题或前实验题弹性模量1.69e11泊松比0.3密度2.3e3.网络化类型自选
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