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利用CO2激光预退火提高硅纳米晶的光致发光强度

上传者: 2020-08-09 09:40:14上传 PDF文件 528KB 热度 20次
利用CO2激光预退火提高硅纳米晶的光致发光强度,陈永彬,任勇,通常在惰性气氛中对SiOx(x<2)薄膜高温(如1100C)退火,可制备镶嵌在SiO2中的硅纳米晶(简称SNSO)。SNSO是一种优质的硅发光材料。我
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