增强硅中掺铒发光强度的途径研究

硅在微电子学领域有着极其广泛的应用,但它是一种间接能隙半导体,发光器件领域是它的缺项。利用在硅中掺入铒发光中心,研制出一种新的发光二极管(Si:Er LED),它的发光波长为1.54 μm,恰好满足石英光纤通信的要求。对掺铒硅的电学特性、材料性能、发光机理等进行了总结,发现制约掺铒硅实用化的一些问题,在此基础上得出提高其发光效率的途径,并介绍了掺铒硅器件的行为和未来展望。