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ITO薄膜热电极的制作及其表征

上传者: 2020-08-08 08:49:13上传 PDF文件 295.62KB 热度 18次
ITO薄膜热电极的制作及其表征,李广伟,孙建军,本文成功制作了ITO膜热电极,并对该电极的电化学和温度等性质进行了表征。研究了曝光时间、显影条件对电极刻蚀条件的影响以及电极
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