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表面应力对微悬臂梁传感器本征频率的影响

上传者: 2020-07-30 14:40:21上传 PDF文件 345.61KB 热度 10次
表面应力对微悬臂梁传感器本征频率的影响,李凯,张青川,在对微悬臂梁传感器本征频率的分析中,一般都忽略了表面应力的影响,由此计算出的吸附质量可能是不精确的。为此,本文从表面应力
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