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声表面波气体传感器的原理及研究进展

上传者: 2020-07-23 14:26:51上传 PDF文件 324.61KB 热度 12次
声表面波气体传感器的原理及研究进展,薛力芳,刘建国,简要叙述了声表面波(SAW)气体传感器的传感原理和研究进展,详细阐述了声表面波气体传感器阵列的新型结构及其主要功能,为实现集
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