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声表面波传感器的模拟与仿真

上传者: 2020-05-31 07:44:20上传 PDF文件 656.33KB 热度 25次
声表面波传感器的模拟与仿真,杨明岳,陈晨,本文以有限元法为基础,对声表面波传感器进行了建模仿真。通过模态分析,得到了SAW传感器的对称频率和反对称频率,对SAW在基底表面
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