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误差分离法在广域薄膜形貌测量中的应用

上传者: 2020-07-22 20:44:08上传 PDF文件 483KB 热度 20次
误差分离法在广域薄膜形貌测量中的应用,刘淑杰,原作兰,为了分离测量中工作台移动带来的误差,提高薄膜广域测量精度,本文应用最小二乘联立方程式法实现测量过程的自校正。同时对比了使
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