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基于硅纳米结构膜的酒精传感器

上传者: 2020-07-22 13:56:44上传 PDF文件 765.54KB 热度 13次
基于硅纳米结构膜的酒精传感器,吕扬,张贺秋,采用化学气相输运方法在蓝宝石衬底上制备了高密度硅纳米结构膜,通过扫描电子显微镜(SEM)对其形貌进行了表征。结果表明这种硅纳
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