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基于蓝宝石衬底的硅纳米线氨气传感器

上传者: 2020-07-22 13:56:36上传 PDF文件 514.35KB 热度 11次
基于蓝宝石衬底的硅纳米线氨气传感器,周畅,胡礼中,采用化学气相输运方法在蓝宝石衬底上制备了高密度的硅纳米线,通过扫描电子显微镜(SEM)对其形貌进行了表征。实验结果表明这种硅
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