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非球面元件面形检测方法、装置、设备及可读存储介质.pdf

上传者: 2020-07-22 10:06:17上传 PDF文件 701.48KB 热度 23次
发明专利说明书。本发明实施例公开了一种非球面元件面形 检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。其 中,方法包括将待测非球面元件的子孔径检测数 据输入至预先利用样本数据集训练深度学习网 络模型得到的面形分布计算模型中,得到各子孔 径的相对位置和重叠区域
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