PECVDSiO_2_Si_3N_4双层膜驻极体性能.pdf

Name: PECVDSiO_2_Si_3N_4双层膜驻极体性能.pdf
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Author: liwanglin224176

上传者：liwanglin224176 2020-07-22 08:43:29上传 PDF文件 346.89KB 热度 16次

本文研究了在带有Cr /Au电极的玻璃衬底上利用PECVD制备的SiO2 /Si3N4 双层膜驻极体性能。针对这种驻极体提出了一个简单的工艺流

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