论文研究 酸槽制程稳定性的优化方法 .pdf 上传者：u735696828 2020-07-22 08:43:24上传 PDF文件 320.68KB 热度 12次 酸槽制程稳定性的优化方法，郑利平，程秀兰，在传统的半导体工艺中，有源区的氮化硅去除过程采用的是磷酸，这种酸对二氧化硅与氮化硅的选择比在一个换酸周期内差异非常大，在 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 收藏 腾讯 微博 用户评论 发表评论 u735696828 资源：19496 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
