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Influence of annealing temperature on microstructure and H2 sensing properties o

上传者: 2020-07-21 21:13:19上传 PDF文件 786.39KB 热度 19次
热处理温度对Pd掺杂SnO2薄膜的微结构和H2气敏特性的影响,沈岩柏,范安锋,本文考察了热处理温度对Pd掺杂SnO2溅射薄膜的微结构和H2气敏特性的影响。研究结果表明,沉积后的非晶态薄膜在热处理温度高于350℃以�
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