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单晶SiC基片高效超精密加工研究进展

上传者: 2020-07-21 20:21:27上传 PDF文件 894.37KB 热度 17次
单晶SiC基片高效超精密加工研究进展,陆静,罗求发,新一代宽禁带半导体材料单晶碳化硅在高性能IC和LED照明灯领域具有广泛的应用前景,但其硬度高、脆性大,是典型的难加工材料。本文�
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