铋基焦绿石薄膜的湿法刻蚀方法研究 上传者:gao44024 2020-07-21 19:51:15上传 PDF文件 245.74KB 热度 42次 铋基焦绿石薄膜的湿法刻蚀方法研究,高莉彬,李汝冠,铋基焦绿石薄膜具有介电可调性,并且介电常数适中、介电损耗低,是具有前景的微波可调介质薄膜材料。在器件微细加工过程中发现, 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论