基于d q变换的时栅位移传感器补偿算法研究.pdf

基于d-q变换的时栅位移传感器补偿算法研究.pdf,时栅位移传感器是一种新型的栅式位移传感器，它不依赖于空间等分性，通过对时间脉冲进行计数而间接实现位移测量，从而达到高精度测量。介绍了传感器信号变形的原因，将非理想信号分为幅度不均、相位偏移、谐波叠加、波形变形四大类；针对幅度不均的情况，将电机学中的d q变换引入误差分析，推导出其对寄生式时栅位移传感的误差影响；同时在d q变换原理的视角下重新审视了时栅传感器的测量过程。提出了一种基于变换空间下的误差补偿算法，d轴的差分项与q轴误差项变化趋势一致，利用变化规律对测量误差进行实时修正。在安装有寄生式时栅位移传感器的实验台上进行了实验并获取到不同情