基于测量基准变换的增量直线式时栅传感器研究.pdf

基于测量基准变换的增量直线式时栅传感器研究.pdf,针对目前绝对直线场式时栅无法满足全闭环数控系统要求的增量式直线位移反馈的问题，采用测量基准转换方式从时间域的角度处理绝对直线场式时栅的空间位移信息，运用时间序列算法分析绝对式时栅采样数据序列的内在相关性，建立自适应递推算法。通过时间触发采样将时栅传感器过去的测量数据作为样本集，递推时栅下一个采样时刻的位移，在下一个采样周期内将直线时栅的绝对位移代表的增量式时间脉冲通过脉宽调制的方式连续发出，实现绝对式直线时栅到增量式直线时栅位移传感器的转换设计。实验表明在76.604 mm的范围内增量式直线时栅位移传感器达到±2 μm的测量精度。此研究可将原