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等离子诱导QWI对InP_InGaAsP结构的影响.pdf

上传者: 2020-07-20 06:22:31上传 PDF文件 787.77KB 热度 11次
为了比较简单地在同一外延片上得到具有不同带隙结构的有源器件与无源器件的PIC(光子集成电路)和OEIC(光电子集成电路)
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