空间三平移柔顺并联超精密定位平台设计与分析

空间三平移柔顺并联超精密定位平台支撑结构具有全柔性特性,通过压电陶瓷驱动器驱动。通过对全柔性支链静刚度分析,建立其运动仿真模型。基于柔性变形理论对空间三平移柔顺并联超精密定位系统运动耦合特性进行分析,并采用ANSYS有限元分析软件进行运动特性的仿真研究,仿真结果表明该柔性并联超精密定位平台具有良好的解耦性。