论文研究 水下应用中基于还原石墨烯的压电电阻型压电传感器的设计

微机电系统（MEMS）矢量传感器是水下声传感器领域中的最新进展。 该声矢量传感器提供的主要诱因是，除了测量与声信号相关的压力外，它还提供有关传入声源信号方向的信息。 我们正在报告一种设计用于水下应用的MEMS声矢量传感器的设计，该传感器使用氧化还原石墨烯（RGO）的压阻膜作为初始材料，并以kapton（聚酰亚胺）膜实现。 传感器是通过将RGO沉积在kapton上而设计和制造的，该kapton是通过滴铸法制成的柔性基板，从而使过程简单，低成本且可扩展。 压阻转导原理和基于仿生原理的矢量传感器的巧妙结构的应用提高了小型化和低频灵敏度。 由于在给定方向上的声信号，所制造的传感器在静态和动态条件下均表