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论文研究一种新型的甲烷薄膜压电传感器 .pdf

上传者: 2020-03-08 06:47:06上传 PDF文件 205.8KB 热度 28次
一种新型的甲烷薄膜压电传感器,李影,,为了测量甲烷气体的含量,研制了一种薄膜声波压电传感器(TFPAS),该传感器主要利用甲烷的吸收改变压电晶体的谐振频率来检测甲烷�
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