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Characterization of Optical emission spectroscopy of ECR plasma for depositing G

上传者: 2020-07-19 10:23:19上传 PDF文件 367.86KB 热度 17次
ECR-MOPECVD生长GaN薄膜中的发射光谱分析,符斯列,陈俊芳,分析了ECR氮气、及氮气与三钾基镓混合气体的等离子体发射光谱,结果显示ECR等离子体中的三钾基镓气源在常温下就发生了强理解。为了
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