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基于Wavelet Galerkin法的微机械谐振器件挤压膜阻尼求解方法

上传者: 2020-07-19 08:21:44上传 PDF文件 446.63KB 热度 10次
基于Wavelet-Galerkin法的微机械谐振器件挤压膜阻尼求解方法,刘宗斌,李普,正确预测挤压膜阻尼对于MEMS器件设计是至关重要的。本文对利用Wavelet-Galerkin方法求解微机械谐振器件的挤压膜阻尼做了初步计算,首先�
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