论文研究 完全叠加制造导电层堆叠聚合物悬臂的改进转移工艺

本文报道了一种覆盖有导电纳米银的聚合物悬臂梁的有效制造工艺。 整个结构可以使用印刷工艺相加地构造，而无需使用蚀刻工艺或牺牲层。 制成的悬臂具有良好的线性度，并在其自身与基板表面之间形成亚毫米级的气隙。 使用导电悬臂和基板上电极之间的电容，可以对电容式测力计进行精细操作。 期望该过程能够有效地制造测量悬臂结构中的机械应变的各种类型的传感器。