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MEMSIC 攻克加速度计难题

上传者: 2022-06-29 21:13:55上传 PDF文件 795.82 KB 热度 11次

加速度计在很多市场中都有着重要的作用。智能手机中会用到加速度计,汽车中也会用到加速度计。测量速度的变化率似乎可以有无限的应用。虽然有很多设计技术可用来创建加速度计,但MEMSIC®Inc.使用Tanner工具开发了没有可动部件的MEMS和CMOSIC技术。采用独特的热技术,通过被加热的气体分子测量加速度。

要将混合信号处理与MEMS器件设计到同一芯片上非常困难,不过MEMSIC已成功将这些技术集成到同一硅片上,并且已向各行业售出了数百万的加速度计。该公司还克服了另外两大障碍,做到了坚持使用标准CMOSIC工艺从而维持低成本生产并且使用Tanner的单套工具将开发标准化。本白皮书介绍了他们是如何完成这一壮举的。

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