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IR studies of oxygen related complexes in electron irradiated Cz Si

上传者: 2020-07-18 12:16:02上传 PDF文件 466.68KB 热度 11次
电子辐照直拉硅中氧相关复合体的红外研究,陈贵锋,阎文博,利用红外吸收光谱技术研究了电子辐照硅中氧相关复合体。实验选取了不同氧含量的硅样品( [Oi]=6.9×1017 cm-3 和 [Oi]=1.06×1018 cm-3)。研究
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