SiO2薄膜热应力模拟计算 上传者：arronone 2020-07-18 09:07:52上传 PDF文件 370.25KB 热度 48次 SiO2薄膜热应力模拟计算，吴靓臻，唐吉玉，薄膜内应力严重影响薄膜在实际中的应用。本文采用有限元模型对SiO2薄膜热应力进行模拟计算，验证了模型的准确性。同时计算了薄膜� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
