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SiO2薄膜热应力模拟计算

上传者: 2020-07-18 09:07:52上传 PDF文件 370.25KB 热度 16次
SiO2薄膜热应力模拟计算,吴靓臻,唐吉玉,薄膜内应力严重影响薄膜在实际中的应用。本文采用有限元模型对SiO2薄膜热应力进行模拟计算,验证了模型的准确性。同时计算了薄膜�
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