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300mm直径单晶收尾工艺的研究

上传者: 2020-07-18 05:08:28上传 PDF文件 274KB 热度 14次
300mm直径单晶收尾工艺的研究,秦朗,刘爱民,针对300mm直径拉晶工艺中的收尾环节进行研究和探讨。对收尾过程中的拉速和温度变化进行设计和讨论,并通过实际的试验对参数进行修�
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