氮化硅薄膜力学性能的纳米压痕测试与分析 上传者：moshishibieshiyan 2020-07-18 03:44:48上传 PDF文件 258.25KB 热度 15次 氮化硅薄膜力学性能的纳米压痕测试与分析，张良昌，许向东，纳米压入法在薄膜材料力学性能测试领域中有着广泛的应用。本文利用纳米压入技术对PECVD氮化硅（SiNx）薄膜的力学性能进行了测量与分 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 moshishibieshiyan 资源：448 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
